Установки для электронно-пучковой полировки и формирования поверхностных сплавов контролируемого состава
Технология полировки основана на облучении поверхности материалов импульсным низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком микросекундной длительности. Облучение вызывает быстрый нагрев и плавление тонкого поверхностного слоя. Характерная толщина модифицированного слоя 1-10 мкм. Обработка происходит в вакууме, в среде инертного газа.
Технология формирования поверхностных сплавов основана на последовательном нанесении пленки (0,1-1 мкм) на поверхность металлического изделия и жидкофазном перемешивании материалов пленки и изделия электронным пучком в едином вакуумном цикле. Функционально поверхностный сплав представляет собой покрытие, обладающее необходимыми свойствами. Основное преимущество технологии – поверхностный слой с заданным химическим составом, оказывается вплавленным в изделие и составляет с ней единое целое. Характерная толщина модифицированного слоя 1-30 мкм.
- Размеры деталей ДхШхВ: 350×300×200 мм
- Диаметр пучка: 80 мм
- Плотность тока пучка: 100-500 А/см²
- Длительность импульса: 2-4 мкс
- Частота следования импульсов: до 1 Гц
- Магнетроны: 2-3 шт
- Скорость напыления материалов: 30-300 нм/мин
- Длительность процесса: 0,5-3 ч
- Потребляемая мощность: 5 кВт
- Габариты ДхШхВ: 2,0х0,8х1,8 м
На август 2023 года опробовано напыление: медь, алюминий, никель, хром, титан, вольфрам, молибден, тантал, цирконий, диспрозий, иттрий
