Электронно-пучковая установка РИТМ-СП

Установка предназначена для формирования поверхностных сплавов путем чередующихся операций магнетронного нанесения пленок и жидкофазного перемешивания электронным пучком.

Краткие характеристики установки

Используемый электронный пучок является широкоапертурным (до 100 мм) низкоэнергетическим (15-30 кэВ) сильноточным (до 50 кА).

Возможно одновременное магнетронное нанесение трех различных материалов с независимой регулировкой параметров распыления.