Два в одном

Институт сильноточной электроники СО РАН посетила делегация крупного европейского научно-исследовательского учреждения – Национального центра ядерных исследований Польши. Целью визита стало тестирование и прием оборудования, изготовленного ИСЭ СО РАН и компанией «Микросплав» по заказу польских партнеров.

   «Микросплав» входит в состав кластера инновационных компаний Томского научного центра СО РАН – «Новые материалы и наукоемкие технологии». Институт сильноточной электроники СО РАН на протяжении многих лет является признанным мировым лидером в сфере разработки сложнейшего электрофизического оборудования, предназначенного, как для фундаментальных исследований, так и для использования в различных высокотехнологичных отраслях промышленности.

  – Наш научный коллектив изучает влияние электронного пучка и импульсных плазменных пучков на модификацию поверхности материалов, – рассказывает Збигнев Вернер, профессор Национального центра ядерных исследований Польши. – Ранее у нас уже был успешный опыт сотрудничества с Институтом сильноточной электроники, который имеет высокий авторитет среди специалистов Европы и США. В 2002 году мы заказали в институте источник плазменных дуговых разрядов, предназначенный для нанесения пленок на поверхность. Поставленный нам тогда ускоритель «Титан» активно применяется для исследований. Но у нас возникла потребность в новейшем, передовом оборудовании. Мы предполагали заказать два отдельно работающих устройства, но ИСЭ совместно с компанией «Микросплав» смогли разработать единый комплекс.

   Для Польского ядерного центра впервые в мире изготовлена установка, в который совмещены две уникальные возможности. Во-первых, это возможность имплантации материалов многозарядными ионами. Во-вторых, – возможность отжига дефектов, возникающих в этих материалах при имплантации, с помощью импульсного сильноточного электронного пучка. Это оборудование предназначено для получения как полупроводниковых, так и металлических материалов, обладающих качественно новыми свойствами, которые будут использоваться в области микроэлектроники и приборостроения.

   Польские специалисты привезли с собой ряд образцов: первые эксперименты были проведены уже на томской земле. Обе стороны надеются на продолжение сотрудничества и уже наметили для себя дальнейшие направления совместной работы.